Для генерации лазерных пучков в газовых лазерах используются газы. Смесь газов, необходимых для работы CO2 лазера, содержит 60-85% гелия, 13-55% азота и 1-9% углекислого газа. Точный состав зависит от типа лазера и его изготовителя.
Для некоторых типов лазеров также требуется добавка небольших количеств других газов, например, кислорода, водорода или ксенона. С другой стороны, смесь газов для TEA лазеров часто содержит небольшой процент CO. CO является токсичным и агрессивным газом, при его применении в системе подачи газа должны быть установлены дополнительные устройства защиты.
Используемый для эксимерных лазеров газ содержит 0,05-0,3% галогена (фтора или хлористого водорода), 1-10% инертного газа (криптона, ксенона или аргона) и 90-99% буферного газа (гелия или неона). По соображениям безопасности галоген всегда разбавляется гелием или неоном.
Чистота газов для лазеров
В настоящее время изготовители лазеров требуют применения для них газов сравнительно высокой чистоты. Наличие загрязнений в газах для лазеров ухудшает работу лазера за счет уменьшения его выходной мощности, нарушения однородности электрического разряда, а также при этом возникает необходимость часто выполнять техническое обслуживание оптики лазера.
Чистота лазерных газов имеет очень высокое значение для эффективности работы лазера и срока его эксплуатации. Минимальный стандарт чистоты лазерных газов – 99,999, состав примесей также имеет высокое значение и должен быть известен для оператора лазерной установки. К оборудованию, применяющемуся для понижения давления и стабилизации потока лазерного газа применяются особые требования по числу ступеней снижения давления, материалу, герметичности, системе фильтрации и регулировке выходного потока.Наиболее вредными примесями являются пары воды и углеводороды. Однако примеси могут попадать в газы не только из самих баллонов, но также при использовании плохо сконструированной и смонтированной системой распределения газа.
связи с этим для обеспечения надежной и удовлетворительной работы лазера очень важным является выбор подходящих компонентов системы подачи газа и ее квалифицированный монтаж.
Российское подразделение Linde Gas предлагает любые газовые смеси и чистые газы для лазерной резки, сварки, маркировки и гравировки, эксимерные смеси и специализированное газораспределительное оборудование. Кроме того, возможны поставки специализированных газовых смесей, изготовленных подразделением Linde Gas в Германии для зарубежных лазерных установок (Rofin и др.).